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江苏科技信息 ›› 2017, Vol. 34 ›› Issue (23): 61-62.doi: 10.3969/j.issn.1004-7530.2017.23.013

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支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究

缑旭, 张永凯, 彭石军, 田伟   

  1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心,吉林长春,130033
  • 出版日期:2017-08-15 发布日期:2017-08-15

Study on influence of support stiffness on measurement of noise by using laser interferometry

Gou Xu, Zhang Yongkai, Peng Shijun, Tian Wei   

  • Online:2017-08-15 Published:2017-08-15

摘要： 激光干涉测量技术使用范围广,测量快速高效,在精密位移测量中具有非常大的使用空间.测量噪声是干扰激光测量准确性的重要因素,文章以干涉仪移相器为例,分析了支撑刚度对激光测量噪声的影响关系.结果表明在更换刚性较好的支撑零件下可以改善噪声影响,使测量系统噪声从之前的±6.5 nm降为±3.5 nm,对于提高位移测量准确性具有较大的意义.

关键词: 位移测量, 激光干涉, 移相器